光刻机是干嘛的 光刻机的简介

  1. 光刻机又称掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统,是制造芯片的核心设备。它采用了一种类似于照片打印的技术,通过光照将掩模上的精细图案打印到硅片上。光刻机的类型可
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